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      等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)

      涂層 內護甲涂層

      可以在不同基底材料上生長不同的內壁涂層。內壁涂層可以根據實際應用需求進行定制——硬度,耐磨,腐蝕控制,耐腐蝕性,耐溫性等。

      幾乎任何可以被離化的物質均可以來制備內壁涂層。此項技術可以用制備碳基薄膜,金屬膜,氧化物膜。制備的薄膜可以導電也可以不導電。另外很重要的優勢是,此技術可以實現高速生長,相比于普通等離子化學氣相沉積,可以顯著降低加工成本。

       

      應用領域

      *石油,天然氣,汽車
      *化學加工,金屬加工
      *工業特氣,半導體
      *食品加工,醫療
      *地熱,造紙
      *航天,公共事業等

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